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Celulas solares flexiveis de filmes finos de silicio sao geralmente fabricadas a baixa temperatura sobre substratos de plastico ou a mais elevadas temperaturas sobre folhas de aco. Esta tese reporta o estudo da deposicao de filmes finos sobre diferentes substratos de plastico, transparentes e coloridos, para celulas solares do tipo sobrestrato e substrato, respectivamente. Como objetivo co-lateral, os filmes dopados depositados sobre plastico foram usados como sensores de deformacao, utilizando as suas propriedades piezo-resistivas. Elevadas taxas de deposicao dos filmes de silicio depositados sobre plastico foram obtidas a baixa temperatura do substrato (150ºC) por rf-PECVD. A influencia de diferentes parametros de deposicao sobre as propriedades e taxa de deposicao dos filmes resultantes foram estudados e correlacionados. Celulas solares de filmes finos de silicio amorfo e microcristalino foram desenvolvidas a baixas temperaturas sobre plasticos. Eficiencias de 5 - 6.5% foram alcancadas para as celulas amorfas e 7.5% para as celulas microcristalinas. Efeitos de aprisionamento da luz foram estudados atraves da texturizacao por ablacao laser de substratos de plastico e corrosao umida de TCO sobre plastico. Filmes finos de silicio microcristalino, depositados por HW-CVD, com fator piezoresistivo de -32.2, foram usados para fabricar sensores de deformacao em uma membrana plastica muito fina (15 μm). Estruturas de teste em textil e a miniaturizacao dos sensores piezoresistivos depositados sobre substratos flexiveis de poliimida foram abordados.

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